Газы, выбрасываемые при работе технологической системы, обычно содержат небольшие количества не вступившего в реакцию озона. Необходимо разложить остатки озона в газе до выброса в атмосферу. Известны три основных способа разложения озона:

Термический способ предусматривает нагревание газа до температуры 300⁰С, под воздействием которой озон разлагается очень быстро. Термальные деструкторы наиболее подходят для использования в системах с постоянным или большим потоком газа. Озония выпускает несколько моделей термальных и термокаталитических деструкторов.

В каталитических деструкторах газ пропускается через катализатор. Каталитическое разрушение - это идеальный метод разложения озона, однако он применим лишь в тех случаях, когда газ не содержит побочных веществ, способных "отравить" катализатор.

Третий метод разложения озона, широко применявшийся в прошлом, является разновидностью каталитического метода с использованием активированного угля. Использование активированного угля в настоящее время не рекомендуется, в особенности когда питающий газ генератора - кислород. Повышение температуры, сопровождающее экзотермическую реакцию разложения озона, и окисление активированного угля могут стать причиной возгорания. Деструкторы на активированном угле могут применяться при низких (до 1%) концентрациях озона в воздухе.